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科学研究

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高分辨光刻成像及像质检测技术

作者:科研处 | 发布日期:2009-11-03 10:29:59
  主讲人:李艳秋
  时 间:2009年11月5日下午2:00
  地 点:新校区公共教学楼B207
  欢迎广大师生光临!
  主讲人简历:李艳秋,北京理工大学教授,长江学者,博士生导师。中国科威尼斯网站网址电工研究所2001年引进国外杰出人才入选者。国家自然基金委信息学部十一、十二届评审专家组成员,国家微机电标准化委员会委员,中国博士后科学基金评审组专家,《光学技术》期刊编辑委员会第五届委员会副主任委员,光学技术专业委员会第五届委员会副主任委员,SPIE 会员,Associate editor of IEEE Sensor Journal (Special Issue),第六届传感技术学报编委会委员,激光与光电子学进展期刊编委,国家集成电路装备及成套工艺重大专项立项和实施方案编写专家,上海微电子装备有限公司暨国家光刻技术研究中心咨询专家。曾任哈尔滨工业大学副教授、日本理化研究所研究员、日本姬路工业大学教授、日本Nikon公司高级工程师。
  负责和参与完成国内外项目15项。目前正在承担着国家自然基金重点项目、面上项目、国家科技重大专项。近10年发表学术论文130余篇,其中被SCI和 EI收录90余篇,申请受理发明专利25项,光刻仿真软件版权5项, 参编中国电气工程大典MEMS技术(篇主编)。在光电技术与检测系统研制、高分辨成像技术及高精度像差检测仪器、微纳技术(微光学、MEMS、微纳检测等)方面,完成的成果达到国际先进水平。。
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